氮氣純化設備以深冷法制氮、PSA變壓吸附制氮，氮膜分離制氮的普通氮氣為原料，經過加氫催化除氧，冷凝、吸附二級干燥，過濾，除去氮氣中的雜質氧、二氧化碳、水份和塵埃，獲得高純度的氮氣。
用戶對純氮中的含氫量有特殊要求時，可通過工藝手段來控制氮氣中的氫氣含量。若原料氮的氧含量超過0.1%時，則可用加氫除氧和除氫的方式來獲得無氫高純氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，則采用化學除氧工藝方法。
高純氮氣廣泛應用于電子、冶金、化工、熱處理、化纖、食品等部門，有些熱處理工藝需要在氮氣中加入一定比例的氫氣時，可提供自動加氫裝置。
氮氣純化設備先將原料氫氣加熱后，使其進入裝有鈀催化劑的除氧器。在除氧器中氫氣中的微量氧與氫氣在催化劑作用下，發生氫氧反應生成水汽O2+2H2→2H2O，再經冷凝除水達到除氧之目的。經除氧、除水后的氫氣再經裝有分子篩的干燥器進行深度吸附干燥處理。從而獲得含水量、含氧量極低的高純氫氣。
氮氣純化設備的主要特點：
1.工藝流程簡單、除氧深度深、露點低；
2.電氣裝置按隔爆要求設計；
3.運行成本低，設備投資少；
4.操作方便、維護簡便；
5.可靠性高。
高純氮氣指標：
1.壓力：0.5-0.6Mpa(可調)；
2.常壓露點≤－70℃；
3.氧含量≤3ppm；
4.氫含量：500-2000ppm；
5.氮氣量：10-5000Nm3/hr。
